Apparatuur detecteert en meet kleine deeltjes

Thema:
Metrologie

Bij het meten, onderhouden en vuilvrij houden van microscopisch kleine oppervlakken komen moderne technologieën kijken. We meten defecten met scanning probe microscopy en detecteren de kleinste deeltjes met onze speciale scanner, de Rapid Nano.

Kleine deeltjes detecteren

Bij het maken van chips is het belangrijk dat er geen deeltjes op de chip terecht komen. Het kleinste deeltje kan al leiden tot een onbruikpaar product. Daarom hebben we een manier om deeltjes met een omvang van 50 nanometer te detecteren. Namelijk met onze speciale scanner, de Rapid Nano. Zo kunnen we vaststellen welke werkmethoden zo schoon mogelijk werken en hoe ze te verbeteren zijn.

De Rapid Nano

De Rapid Nano is een relatief betaalbaar instrument dat het reflectieve oppervlak (bijvoorbeeld EUV-maskers) volledig scant in een afgeschermde schone box. Dat gebeurt met een snelheid van 100 cm2 per uur. De oplossing kan dan worden geïntegreerd met het proces van de klant.

Snel en gedetailleerd

Volgens de modernste normen mag halfgeleiderapparatuur tijdens het productieproces niet meer dan één deeltje van 50 nanometer per tien cycles toevoegen aan een masker van 15 x 15 centimeter. Dat kun je vergelijken met in een straaljager over Nederland vliegen op zoek naar een tennisbal. En dan wil je dat het liefst binnen een paar uur weten. Dat vergt een snelle en gedetailleerde methode.

Kennis van TNO

We hebben al 10 jaar een toonaangevende positie op het gebied van detectie van deeltjes. We bedenken methoden om defecten betrouwbaar te detecteren en lokaliseren, en gebruiken daarvoor onze kennis van optica, signaalverwerking, vacuümtechnologie en ultraschoon werken.

Laat je verder inspireren

1 resultaat

Metrologie

Informatietype:
Artikel
We ontwikkelen nieuwe machineconcepten, waaronder optische lithografie, optische metrologie en scanning probe microscopy (SPM).
Lees meer
over Metrologie