Onze rol in semicon en quantum

Wat wij doen voor de semiconductor industrie

Een overzicht van wat TNO doet voor de semiconductor industrie:

• We waren naast Philips een van de vier architecten van apparatuur voor lithografie op basis van extreem ultraviolet licht (EUV-lithografie) in het consortium. Dit consortium werd geleid door ASML en Carl Zeiss.
• We hebben meerdere eerste generatie-modules ontwikkeld (bijvoorbeeld de reticle handler, positiesensor). De designs hiervan zijn inmiddels doorontwikkeld door ASML en haar partners, maar zijn nog steeds goed herkenbaar.
• We specialiseerden ons in de ontwikkeling van apparatuur (immersie & EUV lithografie, nieuwe metrologieconcepten), de realisatie van test- en kwalificatieapparatuur en onderzoek en innovatie (R&D) voor verontreinigingsbeheersing.
• We investeren in quantumtechnologieën, heterogene integratie en geïntegreerde fotonica. Zo staan we klaar voor toekomstige vraagstukken van onze partners.

QuTech: Instituut voor quantumtechnologie

TNO gelooft in quantumtechnologie als uitbreiding op ontwikkelingen in nano- en halfgeleiderstechnologie. Samen met de Technische Universiteit Delft en met steun van de Nederlandse overheid heeft TNO QuTech opgericht. QuTech is een instituut voor de ontwikkeling van de eerste quantumcomputer en het quantuminternet. Samen met Microsoft en Intel, KPN, onze spin-off bedrijven en andere Europese RTO’s als Fraunhofer Gesellschaft en CEA werken bijna 300 wetenschappers en ingenieurs aan deze ambitie. Bekijk een eerste demonstratie van quantum computing bij Quantum Inspire of ga voor meer informatie naar QuTech. Daarnaast onderzoeken we nieuwe sensoren op basis van quantumtechnologie, is onderzoeksinfrastructuur opgezet, en worden partners 1-op-1 ondersteund. Verder onderzoeken we toepassingen van quantumtechnologieën op het gebied van ICT en defensie en security.

Nederlandse fabrikanten steunen

We willen Nederlandse fabrikanten helpen via sleuteltechnologie de informatiegedreven samenleving vorm te geven. Dit is nodig voor bijna alle duurzaamheidsdoeleinden en moet leiden tot duurzame banen en een groei van het BBP. We bieden een-op-eensupport en steunen de ontwikkeling van ecosystemen met een sterke positie in Nederland. TNO werkt samen met marktleiders wereldwijd om aangesloten te blijven op actuele trends en technologieën.

Partners in semiconductor equipment

We werken samen met grote technologiebedrijven zoals ASML, Carl Zeiss, Intel en Microsoft, en met Nederlandse innovatieve MKB's zoals Bronkhorst High-Tech B.V. Vaak in vertrouwelijke projecten, omdat dat de snelste route naar valorisatie is. Voor minder ontwikkelde technologieën werkt TNO samen in Europese consortia (zoals KDT projecten), nationale consortia (zoals PhotonDelta en QuantumDeltaNL) en zelfs via gedeelde ontwikkelingsprogramma's (zoals QuTech). Daarnaast wil TNO het Nederlandse MKB ondersteunen, met name via technologieoverdrachten zoals licentie- en spin-out activiteiten. TNO is er trots op dat innovatieve Nederlandse MKB-bedrijven gebruik maken of hebben gemaakt van TNO IP, zoals Delta Diagnostics, Hittech, LansEngineering, Mecal, Nearfield Instruments, Somni, Technobis, Technology of Sense, Valley Optics, FastMicro, Orange Quantum Systems en QBlox.

Samen de toekomst in

We willen fabrikanten van apparatuur en anderen in de semiconductor industrie nu en in de toekomst ondersteunen. De eisen aan deze apparatuur zijn steeds uitdagender. Zo vraagt mixed machine overlay om nauwkeurigere lithografiesystemen. Systemen worden duurder en dat verhoogt de eisen in productiviteit, levensduur en betrouwbaarheid. Om dat mogelijk te maken, ontwikkelen we technologie om steeds kleinere deeltjes en thermische besturingsconcepten te meten.

TNO en nieuwe technologieën

Kleinere features vragen om nauwkeuriger metrologische apparatuur. Daarom onderzoeken we nearfield-optica, metamaterialen en andere grensverleggende methodes om informatie te halen uit eigenschappen van nanometer formaat. Het ontwerpen van apparatuur vraagt om nieuwe benaderingen zoals STOP-analysis en kunstmatige intelligentie. En quantumtechnologie wordt geen nieuwe geïsoleerde markt, maar gaat meer nauwkeurige sensoren leveren voor de besturing van apparatuur. En op chipniveau wordt de bekende CMOS industrie verrijkt met fotonische geïntegreerde chips en High Performance Computing wordt uitgebreid met quantumcomputers. TNO is actief in al deze technologieën.