Jacqueline van Veldhoven

“Het belangrijkste werkveld van mijn afdeling is contamination control voor de halfgeleiderindustrie. De bedrijven in deze sector werken altijd op het randje van wat mogelijk is om nóg kleinere en snellere microchips te fabriceren. Toch kan de optiek van de machines altijd vervuild raken.

Let wel, één stofje op de chip en hij doet het niet. Nog erger is een stofje op het maskerpatroon, want dan doen álle chips het niet. Ook kan moleculaire aangroei op de gebruikte optiek het maakproces verstoren. Het is ons werk om te ontdekken hoe je die deeltjes- en moleculaire contaminatie kunt voorkomen. En als dat onmogelijk blijkt: welke maatregelen kun je nemen?

Om die vraag te beantwoorden, testen we voortdurend materialen. Dat kan niet anders, want er komen steeds nieuwe materialen en machines. Daardoor is het lastig te voorspellen welke maatregelen effect hebben. En dus draait ons werk vooral om experimenten. In ons lab bootsen we een zo groot mogelijk deel van de condities na. Denk aan gascondities en plasmacondities – een van mijn taken is het karakteriseren van het plasma dat vrijkomt."

Ons nieuwste paradepaardje

"Sinds een paar jaar kunnen we nóg meer condities nabootsen, want ons nieuwste paradepaardje is een opstelling die extreem ultraviolet licht kan maken, een van de belangrijkste hulpmiddelen van de lithografische machines waaraan wij werken.

Samen met collega’s houd ik mij bezig met deze testopstelling, waarin we materiaal in een vacuüm blootstellen aan extreem ultraviolet licht. Met onze analysemethode kunnen we de bovenste laag van het materiaal onderzoeken: welke atomen bevinden zich daar en welke gewenste en ongewenste verbindingen gaan die aan?”

Op zoek naar maatschappelijke relevantie

“Ik heb in Nijmegen natuurkunde gestudeerd en heb daarna promotieonderzoek gedaan, onder meer op het Max-Planck-Institut in Berlijn. Meteen daarna ben ik bij TNO aan de slag gegaan. Eerst bij een heel andere afdeling: Onderwatertechnologie, waar ze zich bezighouden met onder meer zeemijnenbestrijding.

Hoe ik bij Nano-instrumentatie terechtkwam? Op de kerstviering raakte ik aan de praat met de baas van mijn baas. Die bleek beide afdelingen onder zijn hoede te hebben! Hij bood me een rondleiding aan en ik was meteen gefascineerd. Wat ook meespeelde: deze plek lijkt meer op het werk dat ik tijdens mijn promotie deed.

Na mijn PhD besloot ik dat ik niet in de academische wereld wilde blijven. Ik zocht meer maatschappelijke relevantie. Ik ging op zoek naar werk op technische instituten zoals TNO, al had ik een baan in de industrie niet uitgesloten. Maar het voordeel van TNO is dat je er zo veel mogelijkheden hebt. Kijk naar mij: van zeemijnen naar halfgeleiders! Dat had in de industrie nooit gekund. Het is uniek dat je zo’n overstap binnen hetzelfde instituut kunt maken.”

Altijd gericht op de praktische oplossing

“TNO gebruikt wetenschappelijke methoden om een vraag van een klant op te lossen. Daarin staan we heel handig opgesteld tussen universiteit en bedrijfsleven – precies dát is onze meerwaarde. We zijn altijd gericht op de praktische oplossing van een probleem, al hebben we ook een blik op de langere termijn. We zien in de industrie natuurlijk dingen aankomen waar straks behoefte aan is, en ook daar doen we onderzoek naar.

Bij TNO is daarnaast veel aandacht voor persoonlijke ontwikkeling, zeker binnen het programma voor talentontwikkeling. Daar zaten erg goede cursussen bij. We werken in een omgeving met echte bèta’s, dus niet iedereen is gewend om over zichzelf te praten.

Natuurlijk krijg je een mentor toegewezen bij wie je altijd terecht kunt. Maar dan moet je wel eerst weten wat je wilt vragen! Die cursussen helpen je om jezelf beter te leren kennen en je grenzen te stellen. Dat moet wel, want de druk is hier hoog en je vereenzelvigt je al gauw met je werk. TNO wil graag dat je goed op jezelf past.”

Lekker smooth

“Soms heb je van die dagen dat alles bij elkaar komt. Het blijft experimentele wetenschap, dus soms is het even spannend. Vandaag moet het gebeuren! En als het dan wérkt en in samenwerking met je collega’s alles lekker smooth loopt, dan geeft dat enorm veel voldoening. Ik ben nu bij TNO als scientist actief en denk niet dat ik volledig van rol ga veranderen.

Ik zie mezelf niet gauw afdelingsmanager of projectmanager worden. De inhoudelijke kant van het vak vind ik juist het leukste, je komt altijd nieuwe dingen tegen. En het helpt ook enorm om een paar mensen op de afdeling te hebben die er langer zitten en de geschiedenis hebben meegemaakt.”