Semicon equipment and metrology

Hoogwaardige chips voor iedereen

Onze digitale wereld zou niet bestaan zonder halfgeleiderchips en -apparatuur. En terwijl die chips en apparatuur kleiner worden en hun capaciteit en rekenkracht groter worden, neemt de behoefte aan precisie, nauwkeurigheid en contaminatievrije productie toe. TNO werkt samen met stakeholders uit de gehele waardeketen om met geavanceerde metrologie-oplossingen de kwaliteit en nauwkeurigheid van chipontwikkeling te waarborgen. We werken onder andere samen met chipfabrikanten en valideren en demonstreren concepten voor metrologie-apparatuur voor andere hightech sectoren, bijvoorbeeld op de terreinen van ruimtevaart, kernenergie en quantumtechnologie.

De productie van chips vindt plaats op de grens van wat technologisch mogelijk is. Om die productie verder te optimaliseren is een multidisciplinaire aanpak nodig. Om continue vooruitgang in halfgeleidertechnologie mogelijk te maken, bieden onze experts:

• apparaatprocesbeheer
• metrologie-oplossingen
• nieuwe c.q. verbeterde componenten en apparatuur
• experimentele opstellingen (in het laboratorium maar ook in industriële omgevingen)

Onze unieke expertise als het gaat om ultraschone vacuümtechnologie, AFM-metrologie (Atomic Force Microscopy), computationele fysica, plasmafysica, warmte-, massa- en stromingsoverdracht, deeltjescontaminatie, levensduur, state-of-the-art opstellingen en systeemengineering stelt ons in staat om de meest effectieve oplossingen te bieden voor de grote uitdagingen die de sector kent.

Front-end optimalisatie

TNO werkt al meer dan 25 jaar samen met ASML en leveranciers van ASML om lithografieapparatuur te optimaliseren en optimale prestaties te waarborgen. Omdat bedrijven steeds zoeken naar manieren om complexere chips te maken, sneller en nauwkeuriger dan ooit, onderzoekt TNO Semicon equipment and metrology op welke manier oudere machines kunnen worden aangepast óf ontwikkelt ze nieuwe componenten voor deze aanpassing. Samen met ASML en leveranciers van ASML werken we aan de ontwikkeling van metrologiesystemen die aansluiten bij de huidige behoeften. Hierbij richten we ons vooral op het voorkomen van contaminatie en het waarborgen van precisieproductie.

Back-end versnelling

Nadat het patroon van een wafer is ontworpen, voeren halfgeleiderfabrikanten hun eigen unieke productieproces uit: snijden, stapelen, onderling verbinden, verpakken en meer. Ook hier zijn precisie en het voorkomen van contaminatie van het grootste belang. We onderzoeken, ontwikkelen en helpen bij het realiseren van oplossingen die ervoor zorgen dat elke chip met de gewenste nauwkeurigheid wordt gefabriceerd onder contaminatievrije omstandigheden, in het tempo en in de hoeveelheden die de industrie nodig heeft.

Chipfabrikanten, leveranciers van apparatuur en componenten en andere hightechbedrijven in de waardeketen van halfgeleiders vertrouwen op ons als het gaat om oplossingen voor soms uitermate complexe productieproblemen. Ons multidisciplinaire team staat altijd klaar om ook uw probleem op te lossen. Wilt u weten hoe u uw productieproces kunt verbeteren of kunt fine-tunen met behulp van contaminatiecontrole en/of precisiemetrologie? Neem dan vandaag nog contact met ons op.