Hitachi SEM SU-70
- Categorie:
- Nog te bepalen
- Merk:
- Hitachi
- Type:
- SU-70
Beschrijving
De Hitachi SU70 is een zogenaamde Schottky FEG Scanning Elektronen Microscoop. Deze wordt primair ingezet met materiaalkundig onderzoek. De elektronenbron maakt het mogelijk ook niet-geleidende materialen, zoals aluminiumoxide, te onderzoeken tot een resolutie van ca 3nm zonder het aanbrengen van een geleidende laag. Een dergelijke laag bedekt kleine oppervlakte details.
In combinatie met ion milling zijn dunne lagen vanaf 3-4nm te karakteriseren.
Door gebruik te maken van een zogenaamde top-detector kunnen back-scatter elektronenbeelden bij lage versnelspanningen (bijvoorbeeld 2kV) worden gemaakt. Daarmee wordt karakterisering van oppervlakken verbeterd.
De microscoop verder uitgerust met EDS (Energie Dispersieve Spectraal element analyse), WDS (Golflengte Dispersieve Spectraal element analyse) en EBSD (Electron Beam Scattering Diffraction), Oxford AZtec 6.1
Technische details
Monsterafmetingen, maximaal: rond 150mm en tot 25mm hoog
Monster tilt (voor EBSD) tot 70°
Field-free lens mode for EBSD
Tilt: -10°/+70°
Deceleration mode: voor zeer lage landingsenergie voor onderzoek aan bundelgevoelige materialen of slecht geleidende materialen
Semi-inlens mode met Super ExB filter
BSE-detector met 5 segmenten, waarmee een BSE-3D beeld gecreëerd kan worden.
Resolutie: beter dan 0,9nm bij 30keV, 1,6nm bij 1keV onder optimale condities.
Versnelspanning vanaf 0,1keV met nm resolutie
EDS elementanalyse vanaf Boor (B)
Hoog vacuum
Hoge en zeer lage bundelstromen, voor optimale keuze tussen oppervlakte onderzoek bij hoge resolutie en materiaal analyse
Aanvullende technieken
EDS, Energie Dispersieve Spectraal elementanalyse
WDS, Golflengte Dispersieve Spectraal elementanalyse
EBSD, Electon Beam Scattering Diffraction
BSE, Back Scatter Electron
Toepassingen
Voorbeelden van toepassingen:
Onderzoek katalisatoren en elektrolysers
Schadeonderzoek
Materiaalanalyses, chemische samenstelling
PMI (Positieve Materiaal Identificatie)
Textuur onderzoek
Kristallografie
Corrrosieonderzoek
Tribologie en slijtageonderzoek
Oppervlakteonderzoek niet-geleidende materialen zoals aluminiumoxide
Voor andere toepassingen, stel gerust een vraag
